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周详电阻激光调阻机

作者: 公布工夫:2018-06-01 阅读次数:133

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为了进步薄膜电路的精度,必需停止阻值调解。因为薄膜丝网印刷操纵固有的不准确性,基板外面的不均匀及烧结前提的不重复性,薄膜电阻常泛起正负偏差,若是阻值凌驾标称值将没法批改,然则,一般情况下印刷烧成后阻值低于目标值的约莫30%,以是要经由过程激光调解到达目标值。   

激光调阻体系及建调手艺机理  

激光修调是把一束聚焦的相干光正在微机的掌握下定位到工件上,使工件待调局部的膜层气化切除以到达划定参数或阻值。调阻时势部温升使玻璃融化,气化局部阻值槽边沿遭到玻璃掩盖,可填平基体外面被切割的介质。先辈的激光建调体系运用了大量的LSI、VLSI电路,以大部分的软件操纵替代很多硬件功用。中心局部是经由过程硬件间接取激光器、光束定位、分步反复及丈量等体系相连接。丈量体系由周详电桥和矩阵组合的无源网络构成。先辈的激光建调体系具有多种建调功用,能够建调混淆集成电路、厚薄膜电阻器网络、电容网络、瓷基薄膜集成元件,借能够建调D/A和A/D转换器的精度,V/F转换器的频次,有源滤波器的零点频次及运算放大器的平衡电压等。   

先辈的激光建调体系重要包孕以下几个局部:   

(1) 激光器局部     

接纳端泵激光器,出光更邃密,结果更好。

(2) 光束定位体系   

接纳振镜式高速线性马达,进步定位速度和精度。

(3) 视频看管体系    

接纳光学反射体系和高清摄像体系,融会光束和摄像为同轴,视频追随光斑挪动,便于激光定位和看管。

(4) 建调设定器

它间接取激光器、光束定位器、分步反复台及丈量体系相联接。它能够经由过程顺序改动刻蚀尺寸,改动切割的建调偏向,决意阻值转变,而不影响精度。别的,借具有主动校订功用,正在临时事情时可使修调设定值连结稳固。  

(5) 阻值及电压测定装配   

接纳周详电桥和矩阵组合的测试无源网络,阻值丈量精度可达0.1%,丈量工夫仅为5ms。这类设想能够防备外界滋扰,且因为接纳差动丈量,主动消弭偏离及极性转换,借可用来测定有源电路修调时的直流电压。   

建刻体式格局重要有以下几种:  

(1)单刀切割电阻法   

(2)双刀切割电阻法   

(3)L型刀口切割电阻法   

(4)交织对切电阻法   

(5)曲线型L刀口的切法   

(6)曲线型U型刀口的切法   

正在现实事情中,重要运用的是前4种,关于差别的电阻应凭据其方数的差别挑选差别的刀口。个中单切和L型刀口最为常用,并且调过的阻值稳定性好。

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