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半导体侧面泵浦激光调阻机

作者: 公布工夫:2016-03-30 阅读次数:769永利mg电子游戏
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电阻建刻运用局限

为了进步薄膜电路的精度,必需停止阻值调解。因为薄膜丝网印刷操纵固有的不准确性,基板外面的不均匀及烧结前提的不重复性,薄膜电阻常泛起正负偏差,若是阻值凌驾标称值将没法批改,然则,一般情况下印刷烧成后阻值低于目标值的约莫30%,以是要经由过程激光调解到达目标值。正在压力传感器,电流传感器等电路中,因为电阻的偏差身分,会致使传感器电路的零位点发生正负偏差,一般情况下是由野生改换电路中的一边电阻去到达调整的目标,需求种种差别阻值的揭片电阻去实现,调治对照贫苦,用激光调阻来实现正在两个电阻之间零位调治判定,正在很短的工夫便能够完成,省去野生换电阻的贫苦,进步了消费效力。

激光调阻体系及建调手艺机理  

  激光修调是把一束聚焦的相干光正在微机的掌握下定位到工件上,使工件待调局部的膜层气化切除以到达划定参数或阻值。调阻时势部温升使玻璃融化,气化局部阻值槽边沿遭到玻璃掩盖,可填平基体外面被切割的介质。先辈的激光建调体系运用了大量的LSI、VLSI电路,以大部分的软件操纵替代很多硬件功用。中心局部是经由过程硬件间接取激光器、光束定位、分步反复及丈量等体系相连接。丈量体系由周详电桥和矩阵组合的无源网络构成。先辈的激光建调体系具有多种建调功用,能够建调混淆集成电路、厚薄膜电阻器网络、电容网络、瓷基薄膜集成元件,借能够建调D/A和A/D转换器的精度,V/F转换器的频次,有源滤波器的零点频次及运算放大器的平衡电压等。  

先辈的激光建调体系重要包孕以下几个局部:   

(1) 激光器局部     

接纳半导体鼓励Nd:YAG激光器,高频Q掌握开关,厚膜修调最小光斑达20μm,脉冲反复频次为500Hz~50kHz。

接纳光纤激光器,下单脉冲能量,最小光斑达10μm,脉冲反复频次10-100 kHz。

接纳端面泵浦半导体激光器,高频Q掌握开关,最小光斑达8μm,脉冲反复频次1-100KHz,下霎时脉冲能量,厚膜修阻更静,温漂更小。

接纳绿光激光器大概紫外激光器,能够加工更周详的电阻,刻线邃密,个中紫外为冷加工,零温漂使电阻更稳固,结果最好。 

(2) 光束定位体系   

接纳振镜式高速线性马达,进步定位速度和精度。

(3) 视频看管体系    

接纳光学反射体系和高清摄像体系,融会光束和摄像为同轴,视频追随光斑挪动,便于激光定位和看管。

(4) 建调设定器

它间接取激光器、光束定位器、分步反复台及丈量体系相联接。它能够经由过程顺序改动刻蚀尺寸,改动切割的建调偏向,决意阻值转变,而不影响精度。别的,借具有主动校订功用,正在临时事情时可使修调设定值连结稳固。 

(5) 阻值及电压测定装配   

接纳周详电桥和矩阵组合的测试无源网络,阻值丈量精度可达0.5%,丈量工夫仅为5ms。这类设想能够防备外界滋扰,且因为接纳差动丈量,主动消弭偏离及极性转换,借可用来测定有源电路修调时的直流电压。  

建刻体式格局重要有以下几种:  

(1)单刀切割电阻法   

(2)双刀切割电阻法   

(3)L型刀口切割电阻法   

(4)交织对切电阻法   

(5)曲线型L刀口的切法   

(6)曲线型U型刀口的切法   

正在现实事情中,重要运用的是前4种,关于差别的电阻应凭据其方数的差别挑选差别的刀口。个中单切和L型刀口最为常用,并且调过的阻值稳定性好。

BY-DZ系列半导体激光调阻机主要技术参数

  型号 BY-CBDZ50W

  激光功率 50W

  激光波长 1064nm

  光束质量 ﹤3

  激光反复频次 ≤1-50KHz

  打标局限 70mm×70mm

  修刻线速 ≤6000mm/秒

  建刻深度 ≤0.01-1mm(使质料定)

  电力需求 220V/单相、50HZ/10A

  整机耗电 ≤1200W

  整机免保护工夫 10000小时

  冷却体式格局 水冷却

  构造 分体式

  光束定位

  范例:闭环振镜掌握式扫描体系

  建刻面积:70mmX70mm

  分辨率:2.5μm

  激光

  范例:半导体侧面泵浦激光器,调制形式Nd:YAG

  波长:1064nm

  输出功率:50W

  最大反复频次:50kHz

  光学

  典范光斑尺寸:35到55μm(70mmX70mm地区)

  焦深:2mm,现实切口宽度取质料、光学和激光波长有关

  校曲/看管

  校曲:软件掌握定位

  照明看管:LED寒光

  建刻地区放大:

  最小地区大小(最大放大):2.5mmX2mm

  定位:软件掌握定位

  计算机

  主机:产业掌握计算机,LCD显示器

  软件

  ByTrim软件:

  旌旗灯号丈量

  型号:一组四探针,加电流测电压旌旗灯号或间接丈量电阻旌旗灯号,可切换

  转换速度:10μs

  校准:主动软件校准

  恒流源

  输出局限:0.01μA~100mA计算机程控挑选

  下阻测量仪

  丈量局限:10K到1.6GΩ

  直流电压丈量

  旌旗灯号输入量程:-10V到 10V

  旌旗灯号输入阻抗:每一个差分旌旗灯号输入端( 端或-端)相对GND阻抗1MΩ(可更改)

  旌旗灯号采集采样率:93.750K、46.875K、23.437K、11.718K、5.859K、2.930K、1.65K、0.732K八档可调

  旌旗灯号采集分辨率:24bit

  电阻丈量

  局限:0到100K 10K到1.6GΩ

  精度:约莫5‰

  校准:主动

  挪动体式格局

  平台规格:300mm*250mm

  掌握体式格局: PCL掌握

  驱动形式:伺服机电驱动,滚珠丝杠包管挪动平台每一个位置的精度。

  换片体式格局:由挪动平台实现,每加工一个后由软件掌握挪动平台挪动到第二个电阻建刻,悉数电阻修完后实行退片顺序。可定做全自动高低料装备,实现机械脚高低料,完整庖代野生操纵,进步消费效力。

  探针分辨率:5μm

  探针板:特别定制

  冷却体式格局

  水循环冷却

  电源要求

  220V,50Hz, 1200W

  事情情况要求:

  环境温度要求正在5-35℃之间,要求装空调。

  湿度要求为40%-80%。无结露,应当安装除湿机。

  供电电网要求:220V;50Hz

  装备空间要求要包管无烟无尘,制止金属抛光研磨等粉尘严峻的事情情况。

  气压:86-106kpa。

  某些情况应装防静电地板,增强屏障等

  事情冷却轮回火的水质有严厉要求,要求运用纯净水、去离子水或蒸馏水,弗成以运用自来水、矿泉水等含有较下金属离子或其他矿物质的水质。

  实用质料和行业运用

  适用于陶瓷薄膜电路,传感器行业,调压器行业,微电路等。

普遍应用于集成电路、电工电气、手机通讯、仪表仪器、兵工、航天等浩瀚行业的产物周详调治。

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